日本ULVAC DA-81S膜片干式真空泵 ? 膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。 ? 泵體結構采用無油環境設計，因此維護簡單。 ? 根據您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。
日本ULVAC DTC-41膜片干式真空泵 ? 所有接觸氣體的部件全部采用PTFE 與FPM 材料。 ? 適合吸排有腐蝕性或有機溶劑氣體。 ? 高真空至1000Pa。
日本ULVAC DISL-502渦旋干式真空泵 單繞式渦旋泵含軌道螺旋和固定螺旋各1 個。比DIS 系列對灰塵與水蒸氣的處理能力強，適合工業用。
泵體部件采用聚苯硫醚和聚四氟乙烯高耐腐塑料一次成型，使用壽命長。 流量大，負(正)壓力高，可滿足各類過濾器的要求。 有正壓、負壓獨立接口，可用于不同場合。
